|
Высокоэффективная фильтрация
воздуха
|
 НЕРА
- фильтры |
| ULPA
- фильтры |
| .....Для того чтобы гарантировать
удаление из подаваемого в чистое помещение воздуха частиц, которые
могут загрязнить продукцию, воздух должен фильтроваться. |
| .....До начала 80-х годов
для фильтрации воздуха в чистых помещениях применялись НЕРА (High
Efficiency Particulate Air) фильтры, т.к. на тот момент они были наиболее
эффективными из коммерческих доступных фильтров. В настоящее время
НЕРА-фильтры все еще используются в большинстве чистых помещений,
однако потребности одной из отраслей современного производства интегральных
схем достигли уровня, требующего применения более эффективных фильтров.
Такие фильтры получили название ULPA (Ultra Low Penetration Air) фильтров. |
|
НЕРА-фильтры
|
| .....НЕРА-фильтры характеризуются
эффективностью фильтрации и величиной перепада давления при номинальном
расходе воздуха. По определению, НЕРА-фильтр должен обладать эффективностью
фильтрации мелких частиц (с размером около 0,3 мкм) не менее 99,97%.
Другими словами, только 3 из 10000 частиц размером 0,3 мкм могут проскочить
через такой фильтр. |
| .....Обычно НЕРА-фильтры
с глубокими гофрами имеют размеры 0,6 м х 0,6 м х 0,3 м (2 фута х
2 фута х 12 дюймов), номинальный расход воздуха 0,47 куб.м/с, максимальное
давление 250 Па (1 дюйм водяного столба) и площадь фильтрующего материала
от 15,9 кв. м. до 25, 5. кв. м. Разделив расход воздуха на площадь
фильтрующего материала, получим значение скорости воздуха (при номинальном
расходе) в диапазоне от 1,8 см/с до 3,0 см/с. Эти величины чрезвычайно
важны, так как именно скорость воздуха определяет эффективность задержания
частиц фильтрующим материалом и при увеличении или уменьшении скорости
эффективность фильтрации изменяется. Таким образом, увеличение площади
фильтрующего материала может привести не только к снижению перепада
давления на фильтре, но и к росту его эффективности. |
| .....Компания Camfil
выпускает НЕРА - фильтры несколько типов : Absolute close pleat; Opakfil-G
Micretain H10; Sofilair; Megalam MD, MX, MG, Silent hood absolute
- c классом очистки Н10 - Н 14. |
|
ULPA-
фильтры
|
| .....Обозначение ULPA применяют
для фильтров, имеющих эффективность фильтрации выше, чем обычные НЕРА-фильтры.
Эффективность ULPA-фильтров может достигать 99,999% для частиц диаметром
0,1 - 0,2 мкм. Конструкция и принцип работы этих фильтров аналогичны
фильтрам НЕРА. ULPA-фильтры отличаются тем, что их фильтрующая среда
содержит большую долю тонких волокон, а перепад давления на фильтре
несколько выше. По сравнению с НЕРА-фильтром, имеющим такую же площадь
фильтрующего материала, ULPA-фильтр будет иметь большее сопротивление.
Так как ULPA-фильтры имеют более высокую эффективность, к ним не применимы
методы испытаний, разработанные для НЕРА-фильтров. В этом случае следует
использовать лазерные счетчики частиц или счетчики ядер конденсации. |
| .....Компания Camfil
выпускает ULPA - фильтры несколько типов : Megalam MDGS, MGGS -
Gold Seal; Megalam (Laminator) MDL; Megalam "U" (Gel) -
с классом очистки U 15 - U 16. |
|
